يجب أن يحمي تصميم غرفة تنظيف أشباه الموصلات العمليات الحساسة بشكل متزايد من الجسيمات والتلوث الجزيئي المحمول جوًا والتفريغ الكهروستاتيكي والاهتزاز ودرجة الحرارة أو الرطوبة غير المستقرة. ولا يقتصر التحدي على إنجاز اختبار التصنيف فحسب ؛ فهو يحافظ على ظروف عملية محددة حول الأدوات في حين أن المصنع يعمل ويتغير.
ولذلك فإن المرفق القابل للتطويع يجمع بين تقسيم المناطق القائم على المخاطر، وتدفق الهواء المرن، ومواد التسييب المتوافقة، وحركة المواد المنضبطة، والوصول إلى الخدمات التي لا تعطل الإنتاج بشكل متكرر.
ابدأ بتسلسل العملية وحدد الملوثات التي تهدد كل خطوة. لا تتطلب عمليات الطباعة الحجرية التصويرية والترسيب والنقش والتنظيف والقياس والتجميع والدعم دائمًا ضوابط متطابقة. قد يؤدي تصنيف واحد عبر المنشأة بأكملها إلى إهدار الطاقة بينما يفشل في معالجة المخاطر الجزيئية أو الكهروستاتيكية المحلية.
إنشاء مصفوفة للتحكم في التلوث لكل منطقة تغطي أحجام الجسيمات الحرجة، ومخاوف AMC، واستقرار درجة الحرارة، والرطوبة، والإفراغ الإلكتروستاتيكي، وعلاقة الضغط، والعادم، والوصول إلى الصيانة. وتصبح هذه المصفوفة الأساس للتغطية بالسقف، واستراتيجية الإرداد والهواء، والمواد السطحية، والرصد.
الموقع#39;sمحلول غرفة التنظيف الإلكتروني وأشباه الموصلات) نقطة انطلاق مهمة للفرق التي تنسق البيئات الخاضعة للرقابة مع متطلبات التصنيع المتقدم.
يجب أن يصل الهواء النظيف إلى العملية الحساسة دون أن تسده الأدوات أو الخدمات العامة أو المشغلين. الأحمال الحرارية العالية يمكن أن تخلق أعمدة عمودية تعيق تدفق الهواء المقصود. فالمعدات الكبيرة يمكن أن تخلق مناطق مظللة، والعائدات غير الموضعة يمكن أن تقطع دائرة الإمداد المفلترة.
· أبعاد أدوات رسم الخرائط، وتوصيلات العادم، وانبعاث الحرارة، ومظاريف الصيانة.
· تنسيق مواقع وحدات مكافحة غسل الأموال مع المجالات الحرجة للعمليات بدلاً من الاكتفاء باستخدام نمط موحد بصرياً.
· استخدام استراتيجيات العوائد المنخفضة أو استراتيجيات الحد الأدنى من الزيادة حيثما تدعم مسار الانسياب المرغوب.
· تقييم تدفق الهواء بعد تغيير تصميم الأداة، وليس فقط عند التشغيل الأولي.
· النظر في CFD للخلجان المكتظة أو المناطق المحلية شديدة الحساسية.
ويمكن أن يساعد التحكم في وحدات فردية على إعادة توازن تدفق الهواء عندما تتحرك الأدوات. تكاملغرفة نظيفهكما ينسق الوحدات النشطة والألواح الفارغة والأضواء والوصول إلى الخدمة داخل شبكة متكررة.
ويتحكم HEPA و ULPA في ترشيح الجسيمات ولكن لا يزيل كل ملوث في مرحلة الغاز. وقد تتطلب الأحماض والقواعد والمواد المكثفة والمواد المخدرة وغيرها من الملوثات الجزيئية تحكماً في المصدر وترشيحاً كيميائياً وقيوداً على المواد ورصداً متفانيا.
استعراض موانع التسرب، والطلاءات، والعزل، ومنتجات التنظيف، والمفروشات للتحقق من مخاطر تسرب الغاز. فصل العمليات التي تولد ملوثات غير متوافقة، وإدارة نوعية الهواء الخارجي ومسارات إعادة التدوير. وينبغي ربط المستوى المقبول بحساسية العملية وطريقة القياس بدلا من المطالبة بغرفة تنظيف عامة.
التحكم الكهروستاتيكي يعتمد على أكثر من أرضية. تشكل الأسطح الأرضية أو الموصلة أو المبددة والملابس والأدوات والرطوبة وممارسة التشغيل برنامجًا واحدًا. ويجب أن توازن الرطوبة بين أداء التفريغ الإلكتروستاتيكي ومتطلبات العملية ومخاطر التآكل والتحكم في التكثيف.
يجب أن تكون نهايات الجدار والسقف ناعمة وغير قابلة للتذبذب ومتوافقة مع عوامل التنظيف. مفاصلها وإطارها لا ينبغي أن تخلق فخاخ الجسيمات. حيث تكون التغييرات في المعدات متكررة، أنظام اللوحة الجدارية القابل للإزالةيمكن أن توفر الوصول المتحكم به لحركة الأداة مع الحفاظ على مفهوم الوحدات الضميمة.
ويمكن للمواد الواردة أن تحمل الجسيمات والألياف وحطام العبوات. تحديد خطوات التفريغ والمسح والنقل قبل وصول المواد إلى المناطق الأنظف. وينبغي أن تقلل مسارات الأفراد إلى أدنى حد ممكن من العبور مع تدفقات المواد والنفايات، وينبغي أن يتطابق العزّ مع المخاطر الفعلية للمنطقة.
تكون صناديق التمرير والهوائيات مفيدة فقط عندما يكون تسلسل تشغيلها عمليًا. إذا كانت أوقات النقل غير واقعية، يمكن للمشغلين تجاوز الإجراء. مراقبة حجم الإنتاج المتوقع وحجمه حيز النقل لذروة الطلب والعربات والحاويات.
منشآت أشباه الموصلات تتطور بسرعة. وحدات السقف الاحتياطي، والطاقة الكهربائية، والمرافق، وعناوين المراقبة للتوسع. استخدام لوحات متكررة ووحدات الشبكة بحيث يمكن إجراء تغييرات محلية مع هدم محدود. وينبغي أن تتيح المطاردات التقنية وإمكانية الوصول إلى الخدمات الصيانة في المناطق الأقل نظافة حيثما أمكن ذلك.
يجب أن يقوم التحكم في التغيير بتقييم تدفق الهواء والضغط والحرارة والاهتزاز والعادم الكيميائي والرصد بعد أي تحرك للأداة. وقد تكون هناك حاجة إلى إعادة التوازن وإعادة التأهيل المركزة حتى عندما لا تتغير حدود الغرف.
الاختبار يجب أن يمتد إلى أبعد من عدد الجسيمات غرفة فارغة. التحقق من سلامة المرشح، وحجم تدفق الهواء، وضغط الغرفة، ودرجة الحرارة، واستقرار الرطوبة، والاستعادة، وضوابط التفريغ الإلكتروستاتيكي ورصد AMC ذات الصلة. يمكن أن يظهر تدفق الهواء حول الأدوات الحرجة ما إذا كان الهواء النظيف يصل إلى نقطة الاستخدام على النحو المقصود.
التقاط قراءات خط الأساس وتشكيلات الأداة بحيث يمكن مقارنة الانحرافات المستقبلية مع حالة معروفة. يجب أن تدعم بيانات الاتجاهات التحقيقات في العملية والصيانة الوقائية بدلا من أن تكون موجودة فقط لعرض التدقيق.
لا. وينبغي أن يعكس التصنيف حساسية العمليات. قد تتطلب المناطق الحرجة المحلية رقابة أكثر صرامة من مساحات الدعم أو الخدمة.
يتم تصميم مرشحات HEPA للجسيمات. وتتطلب الملوثات الجزيئية بوجه عام تحكماً في المصدر ومواد متوافقة وترشيحاً مناسباً في الطور الغازي.
ويمكنها تبسيط تحركات الأدوات المتحكم بها وتغييرات التخطيط، مما يقلل من الهدم ووقت التعطل عندما يتم تصميم النظام للإزالة وإعادة الإغلاق القابلان للتكرار.
إعادة التقييم بعد إدخال تغييرات هامة على الأدوات أو العادم أو السقف أو الإرتداد إلى الهواء أو تخطيط الغرفة، وعلى الفواصل الزمنية التي يحددها المرفق#39 ؛ برنامج التأهيل.
ويتضمن طلب تقديم العروض القوية مصفوفة تقسيم العملية، وتخطيط الأدوات، وبيانات الحرارة والعادم، وتصنيف الهدف، ومتطلبات التصميم والتصميم الإلكتروستاتيكي، ووحدة السقف، وطرق الصيانة، وسيناريوهات التوسع. وتدعم غرفة "Wiskind Cleanroom" أفرقة المشاريع العالمية فيما بين المنشآت التجارية من خلال وحدات التخزين والسقف والأبواب والمعدات وقدرات المشروع المتكاملة في مجال تصنيع الإلكترونيات وأشباه الموصلات.
وتتخصص غرفة واسكيند للنظافة في نظام الغرفة النظيفة ونظام السقف وأبواب ونوافذ الغرفة النظيفة وتطوير المنتجات ذات الصلة والتصنيع والمبيعات والاستشارات والخدمات.
Chinese
الإنجليزية
الروسية
الفرنسية
الإسبانية
البرتغالية
العربية
الكورية
الألمانية
اليابانية
تايلاندي
الهندية
