معايير غرفة التنظيف لورش تصنيع الرقائق في صناعة أشباه الموصلات

1. معايير درجة النظافة

وعادة ما يتم تقسيم درجة الغرف النظيفة وفقا لعدد وحجم الجسيمات المسموح بها في الهواء. ISO 14644 عادة ما تستخدم دوليا لتصنيف الدرجات. ووفقًا لهذا المعيار، فإن درجات الغرف النظيفة من عالية إلى منخفضة: ISO 1-9.

تجدر الإشارة إلى أن معايير الغرفة النظيفة يمكن أن تختلف وفقا لصناعات وتطبيقات محددة. في إنتاج رقاقات أشباه الموصلات، عادة ما تكون المتطلبات القياسية للغرف النظيفة أكثر صرامة لضمان أن جودة وأداء الرقائق المنتجة تلبي التوقعات.

ويمكن تقسيم رتب الغرفة النظيفة إلى: الصف 1> الصف 10> الصف 100> الصف 1000> الصف 10000> الصف 300000.

تستخدم الغرف النظيفة من الدرجة الأولى بشكل أساسي في صناعة الإلكترونيات الدقيقة لتصنيع الدوائر المتكاملة، ومتطلبات الدقة للدوائر المتكاملة هي دون ميكرون.

وتستخدم الغرف النظيفة من الدرجة العاشرة أساساً في صناعة أشباه الموصلات ذات عرض نطاق ترددي أقل من ميكرون.

والدرجة 100 من النظافة قابلة للتطبيق على نطاق واسع ويمكن أن تلبي احتياجات النظافة لمعظم الصناعات. ويمكن استخدامه في تكنولوجيا التصنيع العقيم في صناعة الأدوية. يمكن استخدام هذه الغرفة النظيفة في العمليات الجراحية للزراعة والتصنيع المدمج، فضلا عن علاج العزل للمرضى الذين هم حساسون بشكل خاص للعدوى البكتيرية.

تستخدم الغرف النظيفة من الفئة 1000 أساسا لإنتاج المنتجات البصرية الدقيقة، وتستخدم أيضا لاختبار وتجميع الجيروسكوبات الطائرات، وتجميع المحامل الدقيقة الدقيقة الدقيقة، إلخ.

الفئة 10000 غرفة نظيفة يمكن استخدامها لتجميع المعدات الهيدروليكية أو معدات الهواء، وفي بعض الحالات تستخدم أيضا في صناعة الأغذية والمشروبات. بالإضافة إلى ذلك، تستخدم الغرف النظيفة من الفئة 10000 على نطاق واسع في الصناعة الطبية.

2. اعتبارات السلامة

ويجب أن تستوفي زخرفة الغرف النظيفة من أشباه الموصلات متطلبات السلامة. وبشكل عام، هناك عدد كبير من المواد القابلة للاشتعال والمتفجرة في غرف التنظيف من أشباه الموصلات، لذلك ينبغي مراعاة لوائح السلامة الوطنية ذات الصلة، مثل منع الحريق ومنع الانفجار، أثناء الزخرفة. بالإضافة إلى ذلك، ينبغي النظر في التلوث البيئي وصحة وسلامة الموظفين لضمان أن مواد الزخرفة تتوافق مع المعايير الوطنية ولن تسبب ضررًا لصحة الإنسان.

3. نظام معالجة هواء الغرفة النظيفة

غرف نظيفة من أشباه الموصلات) نظم لمعالجة الهواء لضمان نظافة الهواء في الورشة. يتكون نظام معالجة الهواء بشكل رئيسي من مرشحات الهواء وأنظمة إمداد الهواء وأنظمة عودة الهواء وأنظمة العادم. من بينها، مرشحات الهواء هي عنصر مهم الذي يمكن أن يزيل بفعالية الجسيمات والكائنات الحية الدقيقة في الهواء.

4. زخرفة الأرضية والجدران والسقف

في زخرفة غرفة تنظيف أشباه الموصلات، زخرفة الأرضية والجدار والسقف مهمة جدا لأن هذه المناطق عرضة للتلوث. ينبغي أن تكون الأرضية مصنوعة من مواد مقاومة للتآكل ومضادة للكهرباء الساكنة وسهلة التنظيف، مثل الأرضية ذاتية التسوية المصنوعة من الإيبوكسي أو الأرضية البلاستيكية المصنوعة من الكلوريد المتعدد الفينيل ؛ ينبغي أن تكون الجدران والسقف مصنوعة من مواد مقاومة للتآكل ومضادة للكهرباء الساكنة وسهلة التنظيف، مثل الألومنيوم ساندويتش لوحة أو لوحة من الاستانلس ستيل أو جدار زجاجي ساتر إلخ

5. تصميم المعدات الكهربائية مثل المصابيح والمقابس

في زخرفة غرفة تنظيف أشباه الموصلات، وتخطيط المصابيح والمقابس مهم جدا أيضا. ولمنع الملوثات مثل الغبار والكائنات الحية الدقيقة من دخول الورشة، ينبغي تركيب هذه الأجهزة على السقف أو فوق ارتفاع الجدار، وينبغي اختيار مواد مضادة للكهرباء الساكنة وغير سائلة للبارود.

6. الأبواب والنوافذ ومقاعد العمل النظيفة وغيرها من المرافق

في زخرفة غرفة تنظيف أشباه الموصلات،تنظيف أبواب الغرفة،نوافذ الغرفة النظيفة)، ومقاعد العمل النظيفة وغيرها من المرافق تحتاج أيضاً إلى اعتبار خاص. يجب أن تكون الأبواب والنوافذ مصنوعة من مواد ذات أداء مانع تسرب جيد وسهل التنظيف، مثل الأبواب والنوافذ المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ ؛ وينبغي أن تكون مقاعد العمل النظيفة مصنوعة من مواد لا تسقط منها مسحوق وجزيئات الخبث ومقاومة للتآكل وسهلة التنظيف، مثل مقاعد العمل المصنوعة من الفولاذ الذي لا يصدأ.